相变材料二氧化钒薄膜制备的方案
注：文中涉及到的部分图片可能来源于其它文献，这里仅做引用
溅射法
溅射法通常利用ar粒子轰击v或五氧化二钒靶材产生溅射效应，使得粒子从靶材表面射出，运动过程中与氧气反应，继而在衬底表面沉积形成氧化钒薄膜。 溅射过程中，影响成膜质量的因素很多，主要有氧分压、溅射时间、溅射功率、基底温度、退火时间、退火温度、基底材料等。
pld
脉冲激光沉积法利用买成激光加热v或者五氧化二钒靶材至熔融状态，促使靶材中的原子电子甚至离子喷射出来与反应气体接触反应，并在基底形成氧化钒薄膜。 由于该方法对激光器的参数设置要求较高，激光的频率、功率以及基靶间的距离都直接影响沉积速度和薄膜质量，另外对喷射粒子的方向性要求也较高
溶胶-凝胶法
sol － gel 法均匀纯度高、可用于大面积成膜，膜厚不易控制、致密性、复现性差。无机sol-gel法以 v 2 o 5 为前体，高温熔融后迅速加入到蒸馏水中搅拌溶胶、凝胶，然后旋涂到基底上，再经热处理得到 vo 2 薄膜。有机 sol － gel 法是将 v 的有机或无机化合物与醇的溶液水解合成烃氧基化合物，然后利用无机盐类(如氯化物、硝酸盐、乙酸盐等)和乙酰丙酮等有机溶剂对成膜物质进行凝胶、涂层，再进行固化和热处理制得 vo 2 薄膜。
真空蒸发法
真空蒸发法是在真空腔体内，对成膜原料进行加热蒸发，使原材料的原子或分子从表面气化 并逸出，逐步沉积到衬底表面，附着凝结或发生化学反应从而形成氧化物薄膜 由于蒸发法必须在真空室内进行，对基底温度、沉积时间、气体压强以及后续退火工艺等都有较高要求， 这里是加热v2o5或者金属v，先制备出v2o5薄膜，然后在还原设备中加热得到vo2薄膜
cvd
化学气相沉积法是利用载气将气态反应物送入反应腔，在基底上发生化学反应、沉积生成 vo 2 薄膜的方法。根据压力不同可以分为常压cvd，低压cvd，金属有机cvd。 薄膜的性能主要受基底温度、沉积时间、沉积气压等因素的影响。
激光直写法
原理是通过激光直写系统中的激光照射并氧化 v 金属膜，得到vo 2 薄膜。薄膜性能与基底温度和激光功率有关。
薄膜要求
1. 栅氧化膜
常见的介质层
金属层：
薄膜制备技术 薄膜要求
易丝帮讯 近日，西北大学张文彦等人发明提供了一种新型雾霾高效过滤银纳米线网与mofs复合多孔纤维薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：银纳米线的制备、mofs的制备、纺丝前驱体溶液的制备、纺丝液的制备、静电纺丝、抽滤分散液制备、抽滤涂膜。综合利用了多孔金属有机框架mofs材料的特定孔径过滤性、银纳米材料的抗菌性和导电性、静电纺丝技术可制得高比表面积和无纺超细纤维膜的特性，制备得到了一种银纳米线网与mofs复合多孔纤维薄膜材料，实现了对雾霾的高效过滤。 近年来，我国以雾霾天气为代表的大气污染事件已成为影响民众身心健康和日常生活秩序最为显著的社会问题之一。雾霾天气在我国华北、西北甚至在长江以南区域呈现出高频化的趋势，它不但危害人们的身心健康，而且对我国在国际社会的形象造成了一定的负面影响。 普通民众，对于雾霾的应对措施，最有效的方式就是佩戴具有过滤功能的口罩，减少雾霾的吸入量。但是，现在市面上的口罩过滤层虽然阻挡了空气中的颗粒物，但被过滤的颗粒和细菌却很容易附着在口罩滤片上贴近口鼻的部位，造成细菌的滋生，形成二次污染，这些细菌和颗粒物再通过口罩滤片渗透进入人体，对人体造成危害，不符合卫生要求；市场上单纯的杀菌口罩，又存在过滤效果差等问题，而常规口罩具有的微米级孔道又很难去除雾霾组分中的氮氧化物、硫氧化物和有机挥发物等气体类有害物质。因此，需要我们开拓思路，进一步提升其功能特性，开发一种既能很好地过滤颗粒物、吸附空气中的有害气体组分，同时又兼顾抗菌功能的过滤材料。
新型雾霾高效过滤银纳米线网与mofs复合多孔纤维薄膜材料的sem形貌图。
新型雾霾高效过滤银纳米线网与mofs复合多孔纤维薄膜材料的制备流程图；
新型雾霾高效过滤银纳米线网与mofs复合多孔纤维薄膜材料不同直径样品对e .coli和s .aureus的抗菌直径统计图。该发明的有益效果在于：该发明的一种新型雾霾高效过滤银纳米线网与mofs复合多孔纤维薄膜材料的制备方法利用一定直径的银纳米线和一定粒径大小的mofs来进行掺杂制备复合纤维薄膜，利用纺丝形成的纤维薄膜的孔径来过滤，同时通过施加一个较小的电压，利用银纳米线的远程静电力来收集颗粒物，提升过滤效果，又因为银纳米线本身具有杀菌功能，所以可以达到多功能过滤雾霾的效果。 附：专利信息专利名 新型雾霾高效过滤银纳米线网与mofs复合多孔纤维薄膜材料及其制备方法申请公布号 cn 110075815 a申请公布日 2019.08.02 申请号 201910437216 .7申请日 2019 .05 .24申请人 西北大学发明人 张文彦 范亚苛 郝泽泽 刘亚男 王尧宇 钟凯 苟晓杰
链接地址：http://www.espun.cn/news/detail-892.html
文章来源：易丝帮
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